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特長

非接触の三次元表面粗さ・形状測定機です。
三次元表面性状を非接触で測定することができます。
白色干渉方式のため形状の角度に強いです。
接触式と比較して、短時間での測定が可能です。
独自のピーク検出アルゴリズム(DEAP)により、安定したデータが得られます。
本体、除振台、架台が一体となった機種をご用意しています。(Opt-Scope S)
電動ステージの搭載が可能なレボルバ機能搭載機をご用意しています。(Opt-Scope R)

用途

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仕様

X軸(mm):1.7
Y軸(mm):1.7
Z軸(mm):20
測定範囲X軸(mm):1.7
測定範囲Y軸(mm):1.7
走査範囲Z軸(mm):20
電源:AC100/110V
指示精度(Z方向・輪郭):0.8±|2H/100|μm
分解能(Z方向・粗さ):0.1 nm
粗さ機能:有り
輪郭機能:有り

材質/仕上

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セット内容/付属品

データ処理装置、三次元粗さ解析ソフト(サーフコムマップオプト)

注意

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生産国

日本

メーカー

(株)東京精密

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